| 特許番号 | 登録年月日 | 取得特許の名称 | 特許権者 |
|---|---|---|---|
| 5669084 | 2014年12月26日 | ラジカル源 | NUエコ・エンジニアリング株式会社 |
| 5673924 | 2015年1月9日 | 分子線エピタキシー装置 | NUエコ・エンジニアリング株式会社 |
| 5678493 | 2015年1月16日 | 液中プラズマ用電極および液中プラズマ装置 | NUエコ・エンジニアリング株式会社 |
| 5725601 | 2015年4月10日 | 反応種供給装置および表面処理装置 | NUエコ・エンジニアリング株式会社 |
| 5787284 | 2015年8月7日 | 反応種供給装置および表面等処理装置 | NUエコ・エンジニアリング株式会社 |
| 5896384 | 2016年3月11日 | ラジカル源 | NUエコ・エンジニアリング株式会社 |
| 5938809 | 2016年5月27日 | 分子線エピタキシー装置 | NUエコ・エンジニアリング株式会社 |
| 5961899 | 2016年7月8日 | 大気圧プラズマ発生装置 | NUエコ・エンジニアリング株式会社 |
| 5979350 | 2016年8月5日 | プラズマ発生装置 | NUエコ・エンジニアリング株式会社 |
| 6099277 | 2017年3月3日 | 抗腫瘍水溶液および抗癌剤とそれらの製造方法 | NUエコ・エンジニアリング株式会社 |
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