導入実績

導入実績

導入実績

年月日 導入先 名称と用途
2013/02/15 名古屋大学 ラジカルモニター
2012/12/12
名古屋大学 F-RadiMo
2012/10/05
名古屋大学

小型VUV分光器
2012/07/16 名古屋大学
μ-AP型大気圧非平衡プラズマ装置
2011/10/09 名古屋大学
大気圧プラズマ評価装置
2011/05/02 名古屋大学
高密度ラジカル源装置
2010/02/03 名古屋大学
ナノ粒子製造
2009/09/26 名古屋大学
CCP型プラズマエッチング装置
2009/04/08 名古屋大学
EBEP処理装置
2007/06/18 名古屋大学
基盤温度モニター

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