製品ジャンル一覧
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GaN MBE（分子線エピタキシャル成長）装置等に必要とされる高密度原子状ラジカルを発生し、効率的に供給する装置です。
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ラジカルモニターは、プロセスで使える唯一のラジカル計測装置です。1ポート型（SP型）と対向型（DP型）があります。 計測対象プラズマ、用途によりセレクトできます。
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RadiMo用に開発した小型真空紫外分光器です。真空紫外分光用途にも、単独でも、使用可能です。
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第4の状態といわれるプラズマを大気圧下で発生させる、小型大気圧非平衡プラズマ装置です。
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小型実験装置から大型量産装置まで、超臨界状態でのナノテクノロジー分野における製品開発に応用していただけます。
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小型実験装置から大型量産装置まで、超臨界状態でのナノテクノロジー分野における製品開発に応用していただけます。
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世界初、光ファイバから出力される高輝度・超広帯域で低雑音・超平坦な高精度スーパーコンティニューム光源です。
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基板温度モニター
基盤そのものを測定
多層基板の各層の温度を個別に測定可能
薄膜の膜厚と基板の温度の同時測定が可能 -
大面積ナノカーボン・PNナノカーボン堆積装置およびハイパーナノコーティング装置をご用意しています。
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世界初、光ファイバから出力される高輝度・超広帯域で低雑音・超平坦な高精度スーパーコンティニューム光源です。
付帯設備工事
IoTシステム
新規・既存の各種装置の「見える化」からはじめてみませんか？設備状況を把握し予防保全・安全監視も行えます。最適なご提案いたします。
排気・冷却水設備
局所排気・特殊環境における排気設備、大型チラー・装置周辺の冷却設備の工事などお気軽にご相談下さい。
特殊ガス設備
装置へ導入する特殊ガスなどの配管設備施工・保守点検・管理もお任せください。
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TEL：052-933-1320
