事業・製品紹介

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製品ジャンル一覧

  • ラジカルモニター

    ラジカルモニター

    ラジカルモニターは、プロセスで使える唯一のラジカル計測装置です。1ポート型(SP型)と対向型(DP型)があります。 計測対象プラズマ、用途によりセレクトできます。

  • F-RadiMo

    F-RadiMo

    プラズマ装置内におけるフッ素(F)ラジカルの絶対密度をモニタリングできるラジカルモニターです。

  • 小型VUV分光器

    小型VUV分光器

    RadiMo用に開発した小型真空紫外分光器です。真空紫外分光用途にも、単独でも、使用可能です。

  • μ-AP型大気圧非平衡
    プラズマ装置

    μ-AP型大気圧非平衡プラズマ装置

    第4の状態といわれるプラズマを大気圧下で発生させる、小型大気圧非平衡プラズマ装置です。

  • 大気圧プラズマ評価装置

    大気圧プラズマ評価装置

    大気圧プラズマを評価、制御する各パラメータを簡単に計測可能です。

  • 高密度ラジカル源

    高密度ラジカル源

    GaN MBE(分子線エピタキシャル成長)装置等に必要とされる高密度原子状ラジカルを発生し、効率的に供給する装置です。

  • ナノ粒子製造

    ナノ粒子製造

    小型実験装置から大型量産装置まで、超臨界状態でのナノテクノロジー分野における製品開発に応用していただけます。

  • 高精度スーパーコンティニューム光源

    高精度スーパーコンティニューム光源

    世界初、光ファイバから出力される高輝度・超広帯域で低雑音・超平坦な高精度スーパーコンティニューム光源です。

  • ナノカーボン堆積装置

    ナノカーボン堆積装置

    大面積ナノカーボン・PNナノカーボン堆積装置およびハイパーナノコーティング装置をご用意しています。

  • CCP型プラズマエッチング装置

    ナノカーボン堆積装置

    小型実験装置から大型量産装置まで、超臨界状態でのナノテクノロジー分野における製品開発に応用していただけます。

  • EBEP処理装置

    EBEP処理装置

    世界初、光ファイバから出力される高輝度・超広帯域で低雑音・超平坦な高精度スーパーコンティニューム光源です。

  • 基板温度モニター

    基板温度モニター

    基盤そのものを測定
    多層基板の各層の温度を個別に測定可能
    薄膜の膜厚と基板の温度の同時測定が可能

事業紹介

付帯設備工事

  • 給排気設備
    給排気設備

    ご家庭や業務用の給排気設備についてお困りの方はコチラからおすすみください。

  • 冷却水設備
    冷却水設備

    NU-Reiは冷却設備の工事も行っております。
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  • ガス保険設備
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